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Toward Inertial-Navigation-on-Chip

Name: Toward Inertial-Navigation-on-Chip
Brand: Springer Nature Switzerland AG
SKU: 24518988
Price: 150.19 EUR
Availability: InStock
Author: Haoran Wen
ISBN: 9783030254698

The Physics and Performance Scaling of Multi-Degree-of-Freedom Resonant MEMS Gyroscopes

Haoran Wen

Sprache

Englisch

Buch Hardcover

Libristo-Code: 24518988

Verlag Springer Nature Switzerland AG, September 2019

This thesis develops next-generation multi-degree-of-freedom gyroscopes and inertial measurement uni... Vollständige Beschreibung

Libristo-Code: 24518988

368 b

150.19 € inkl. MwSt.

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This thesis develops next-generation multi-degree-of-freedom gyroscopes and inertial measurement units (IMU) using micro-electromechanical-systems (MEMS) technology. It covers both a comprehensive study of the physics of resonator gyroscopes and novel micro/nano-fabrication solutions to key performance limits in MEMS resonator gyroscopes. Firstly, theoretical and experimental studies of physical phenomena including mode localization, nonlinear behavior, and energy dissipation provide new insights into challenges like quadrature errors and flicker noise in resonator gyroscope systems. Secondly, advanced designs and micro/nano-fabrication methods developed in this work demonstrate valuable applications to a wide range of MEMS/NEMS devices. In particular, the HARPSS+ process platform established in this thesis features a novel slanted nano-gap transducer, which enabled the first wafer-level-packaged single-chip IMU prototype with co-fabricated high-frequency resonant triaxial gyroscopes and high-bandwidth triaxial micro-gravity accelerometers. This prototype demonstrates performance amongst the highest to date, with unmatched robustness and potential for flexible substrate integration and ultra-low-power operation. This thesis shows a path toward future low-power IMU-based applications including wearable inertial sensors, health informatics, and personal inertial navigation.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Toward Inertial-Navigation-on-Chip

Autor Haoran Wen

Sprache

Englisch

Einband Buch - Hardcover

Datum der Veröffentlichung 2019

Anzahl der Seiten 127

EAN 9783030254698

Libristo-Code 24518988

Verlag Springer Nature Switzerland AG

Gewicht 454

Abmessungen 155 x 235 x 14

Kategorie

Mathematik und Naturwissenschaften > Naturwissenschaften, allgemein > Wissenschaftliche Standards, Normung usw.

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