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Silizium-Halbleitertechnologie

Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik

Sprache DeutschDeutsch
Buch Broschur
Buch Silizium-Halbleitertechnologie Ulrich Hilleringmann
Libristo-Code: 43704690
Verlag Springer, Berlin, Dezember 2023
Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroel... Vollständige Beschreibung
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Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert. Moderne 3D-Bauformen für Feldeffekttransistoren runden den Inhalt ab. 

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Silizium-Halbleitertechnologie
Autor Ulrich Hilleringmann
Sprache Deutsch
Einband Buch - Broschur
Datum der Veröffentlichung 2023
Anzahl der Seiten 324
EAN 9783658423773
Libristo-Code 43704690
Verlag Springer, Berlin
Gewicht 516
Abmessungen 168 x 240

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik
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