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Silicon Semiconductor Technology

Name: Silicon Semiconductor Technology
Brand: Springer, Berlin
SKU: 43050800
Price: 64.79 EUR
Availability: InStock
Author: Ulrich Hilleringmann
ISBN: 9783658410407

Processing and Integration of Microelectronic Devices

Ulrich Hilleringmann

Sprache

Englisch

Buch Broschur

Libristo-Code: 43050800

Verlag Springer, Berlin, August 2023

The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for micro... Vollständige Beschreibung

Libristo-Code: 43050800

159 b

64.79 € inkl. MwSt.

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The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for microelectronic circuit integration in silicon. Interaction and influences of e. g. oxidation, etching, doping and thermal processes for integrating CMOS- and Bipolar circuits are discussed in detail, beginning with the purification of silicon up to the encapsulated integrated circuit. It includes modern processes like atomic layer deposition and etching for nanoscale structures and compares improvements like silicide contacts, copper metallization, high-k dielectrics, and SOI and FINFET structures. All processes are presented looking from the process engineer's view.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Silicon Semiconductor Technology

Autor Ulrich Hilleringmann

Sprache

Englisch

Einband Buch - Broschur

Datum der Veröffentlichung 2023

Anzahl der Seiten 276

EAN 9783658410407

Libristo-Code 43050800

Verlag Springer, Berlin

Gewicht 524

Abmessungen 168 x 240

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik

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