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Silicon Front-End Technology - Materials Processing and Modelling: Volume 532

Name: Silicon Front-End Technology - Materials Processing and Modelling: Volume 532
Brand: Materials Research Society
SKU: 02060176
Price: 35.89 EUR
Availability: PreOrder
Author: Nicholas E. B. CowernDale C. JacobsonPeter B. GriffinPaul A. Packan
ISBN: 9781558994386

Nicholas E. B. CowernDale C. JacobsonPeter B. GriffinPaul A. Packan

Sprache

Englisch

Buch Hardcover

Libristo-Code: 02060176

Verlag Materials Research Society, September 1998

As silicon-integrated circuit technology enters the sub-100nm realm, continued progress will depend... Vollständige Beschreibung

Libristo-Code: 02060176

88 b

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As silicon-integrated circuit technology enters the sub-100nm realm, continued progress will depend on a fundamental understanding of the physics of materials processing. The high cost of processing experimental lots and the speed at which new devices brought to the market have created a new emphasis on realistic physical models incorporated in technology CAD (TCAD) simulation tools. The book brings together researchers to review recent developments in the integrated-circuit community and to identify key issues for future research in this field. Results of research on the physical mechanisms involved in silicon device processing are presented both from experimental and theoretical viewpoints. The application of this research to TCAD process simulation models is also addressed. Topics include: shallow junctions and transient enhanced diffusion; extended defects and transient enhanced diffusion; impurities and point defects; implant technology, thin films and surfaces and point defects and diffusion in SiGe.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Silicon Front-End Technology - Materials Processing and Modelling: Volume 532

Autor Nicholas E. B. CowernDale C. JacobsonPeter B. GriffinPaul A. Packan

Sprache

Englisch

Einband Buch - Hardcover

Datum der Veröffentlichung 1998

Anzahl der Seiten 228

EAN 9781558994386

ISBN 1558994386

Libristo-Code 02060176

Verlag Materials Research Society

Gewicht 545

Abmessungen 157 x 231 x 20

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik > Elektronische Geräte und Materialien

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Materialwissenschaft

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