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Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique

Name: Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique
Brand: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
SKU: 01651343
Price: 120.89 EUR
Availability: InStock
Author: Joachim Frühauf
ISBN: 9783642060489

A Manual of Wet-Etched Silicon Structures

Joachim Frühauf

Sprache

Englisch

Buch Broschur

Libristo-Code: 01651343

Verlag Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG, Oktober 2010

This methodic manual presents a survey of the form-related and functional elements of the bulk silic... Vollständige Beschreibung

Libristo-Code: 01651343

296 b

120.89 € inkl. MwSt.

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This methodic manual presents a survey of the form-related and functional elements of the bulk silicon microtechnique. It gives a systematic description of simple shape elements and of elements for mechanical, fluidic and optical applications. This manual includes practical instructions for the use of the relevant techniques and an extensive collection of examples for the support of the search for applications via photographs, drawings and references. It serves as a valuable guide to the design of etch masks and processes while summarizing the important properties of silicon, especially aiming at producers of sensors and microtechnical components, as well as producers of components of precision engineering and optical applications.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique

Autor Joachim Frühauf

Sprache

Englisch

Einband Buch - Broschur

Datum der Veröffentlichung 2010

Anzahl der Seiten 222

EAN 9783642060489

ISBN 364206048X

Libristo-Code 01651343

Verlag Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG

Gewicht 367

Abmessungen 155 x 235 x 13

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Industrielle Chemie und Fertigungstechnologien > Industrielle Chemie und Chemietechnologie > Keramik- und Glastechnologie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik > Elektronische Geräte und Materialien

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik > Mikrowellentechnik

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