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Reduced Thermal Processing for ULSI

Sprache EnglischEnglisch
Buch Broschur
Buch Reduced Thermal Processing for ULSI R.A. Levy
Libristo-Code: 02179687
Verlag Springer-Verlag New York Inc., September 2011
Proceedings of a NATO ASI held in Boca Raton, Florida, June 20-July 1, 1988
? points 132 b
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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Reduced Thermal Processing for ULSI
Autor R.A. Levy
Sprache Englisch
Einband Buch - Broschur
Datum der Veröffentlichung 2011
Anzahl der Seiten 450
EAN 9781461278573
ISBN 1461278570
Libristo-Code 02179687
Verlag Springer-Verlag New York Inc.
Gewicht 781
Abmessungen 170 x 244 x 25

Kategorie

Mathematik und Naturwissenschaften > Physik > Materialwissenschaft / Aggregatzustände > Physik der kondensierten Materie (Flüssigkeits- und Festkörperphysik)
Mathematik und Naturwissenschaften > Chemie > Analytische Chemie > Spektroskopie, Spektrochemie, Massenspektrometrie
Mathematik und Naturwissenschaften > Naturwissenschaften, allgemein > Wissenschaftliche Ausstattung, Experimente und Techniken
EDV und Informationstechnologie > Informatik > Rechnerarchitektur und Logik-Entwurf
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