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Rapid Thermal and Integrated Processing IV: Volume 387

Name: Rapid Thermal and Integrated Processing IV: Volume 387
Brand: Materials Research Society
SKU: 02060050
Price: 27.69 EUR
Availability: PreOrder
Author: Steven R. J. BrueckJeffrey C. GelpeyAhman KermaniJorgé L. Regolini
ISBN: 9781558992900

Steven R. J. BrueckJeffrey C. GelpeyAhman KermaniJorgé L. Regolini

Sprache

Englisch

Buch Hardcover

Libristo-Code: 02060050

Verlag Materials Research Society, Oktober 1995

The fourth in a continuing series on rapid thermal processing (RTP), this volume addresses work in t... Vollständige Beschreibung

Libristo-Code: 02060050

68 b

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The fourth in a continuing series on rapid thermal processing (RTP), this volume addresses work in traditional RTP processes such as dielectric growth, annealing and silicides, as well as developments in integrated processes. The primary focus, however, is the manufacturing aspects of RTP and the successful integration of RTP into production semiconductor fabs. Emphasis is placed on process and equipment modelling and the critical aspects of RTP, such as temperature measurement, uniformity and control. Topics include: modelling, sensors and control; integrated processing and manufacturing; dielectrics; epitaxy, polysilicon and devices; and junctions, metallization and contacts.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Rapid Thermal and Integrated Processing IV: Volume 387

Autor Steven R. J. BrueckJeffrey C. GelpeyAhman KermaniJorgé L. Regolini

Sprache

Englisch

Einband Buch - Hardcover

Datum der Veröffentlichung 1995

Anzahl der Seiten 455

EAN 9781558992900

ISBN 1558992901

Libristo-Code 02060050

Verlag Materials Research Society

Gewicht 795

Abmessungen 160 x 231 x 30

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik > Elektronische Geräte und Materialien

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Materialwissenschaft

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