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Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials

Name: Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials
Brand: Springer Netherlands
SKU: 02185022
Price: 304.89 EUR
Availability: InStock
Author: O. Auciello
ISBN: 9789401073691

O. Auciello

Alberto Gras-Martí

Jose Antonio Valles-Abarca

Daniel L. Flamm

Sprache

Englisch

Buch Broschur

Libristo-Code: 02185022

Verlag Springer Netherlands, Oktober 2011

An understanding of the processes involved in the basic and applied physics and chemistry of the int... Vollständige Beschreibung

Libristo-Code: 02185022

746 b

304.89 € inkl. MwSt.

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An understanding of the processes involved in the basic and applied physics and chemistry of the interaction of plasmas with materials is vital to the evolution of technologies such as those relevant to microelectronics, fusion and space. §The subjects dealt with in the book include: the physics and chemistry of plasmas, plasma diagnostics, physical sputtering and chemical etching, plasma assisted deposition of thin films, ion and electron bombardment, and plasma processing of inorganic and polymeric materials. §The book represents a concentration of a substantial amount of knowledge acquired in this area - knowledge which was hitherto widely scattered throughout the literature - and thus establishes a baseline reference work for both established and tyro research workers.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials

Autor O. Auciello, Alberto Gras-Martí, Jose Antonio Valles-Abarca, Daniel L. Flamm

Sprache

Englisch

Einband Buch - Broschur

Datum der Veröffentlichung 2011

Anzahl der Seiten 558

EAN 9789401073691

ISBN 9401073694

Libristo-Code 02185022

Verlag Springer Netherlands

Gewicht 872

Abmessungen 155 x 235 x 29

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Materialwissenschaft > Werkstoffprüfung

Mathematik und Naturwissenschaften > Physik > Atom- und Molekularphysik

Mathematik und Naturwissenschaften > Chemie > Physikalische Chemie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Technologie, allgemein > Nanotechnologie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Industrielle Chemie und Fertigungstechnologien > Industrielle Chemie und Chemietechnologie

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