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Plasma Processing of Semiconductors, 1

Sprache EnglischEnglisch
Buch Broschur
Buch Plasma Processing of Semiconductors, 1 P.F. Williams
Libristo-Code: 02279590
Verlag Springer Netherlands, Oktober 2012
Plasma Processing of Semiconductors contains 28 contributions from 18 experts and covers plasma etch... Vollständige Beschreibung
? points 797 b
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Plasma Processing of Semiconductors contains 28 contributions from 18 experts and covers plasma etching, plasma deposition, plasma-surface interactions, numerical modelling, plasma diagnostics, less conventional processing applications of plasmas, and industrial applications. §Audience: Coverage ranges from introductory to state of the art, thus the book is suitable for graduate-level students seeking an introduction to the field as well as established workers wishing to broaden or update their knowledge.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Plasma Processing of Semiconductors, 1
Autor P.F. Williams
Sprache Englisch
Einband Buch - Broschur
Datum der Veröffentlichung 2012
Anzahl der Seiten 613
EAN 9789401064866
ISBN 9401064865
Libristo-Code 02279590
Verlag Springer Netherlands
Gewicht 868
Abmessungen 160 x 240 x 32

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik > Elektronische Geräte und Materialien
Mathematik und Naturwissenschaften > Physik > Atom- und Molekularphysik
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Technologie, allgemein > Ingenieurswesen, Maschinenbau allgemein
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Technisches Handwerk
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Energietechnik, Elektrotechnik und Energiemaschinenbau > Elektrotechnik
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