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Passive Chemical Project

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Sprache EnglischEnglisch
Buch Broschur
Buch Passive Chemical Project Rajendra Parsad
Libristo-Code: 02265664
Verlag LAP Lambert Academic Publishing, November 2013
The corrosion current of bare copper metal was determined in ferric ion and in hydrogen peroxide sol... Vollständige Beschreibung
? points 180 b
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The corrosion current of bare copper metal was determined in ferric ion and in hydrogen peroxide solutions and was found to be close to the CMP rate reported in the literature. This leads to the new conclusion that copper CMP is mainly a corrosive wear process that occurs at the abraded spots on the wafer surface, the high spots. Cu(I)BTA film forms only at the low areas which are not being abraded. This finding calls for the revision of the conventional view that CMP involves a successive sequence of film formation and removal.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Passive Chemical Project
Autor Rajendra Parsad
Sprache Englisch
Einband Buch - Broschur
Datum der Veröffentlichung 2013
Anzahl der Seiten 216
EAN 9783838333373
Libristo-Code 02265664
Verlag LAP Lambert Academic Publishing
Gewicht 340
Abmessungen 150 x 220 x 13

Kategorie

Mathematik und Naturwissenschaften > Chemie
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