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Nanopositioning Technologies

Fundamentals and Applications

Sprache EnglischEnglisch
Buch Hardcover
Buch Nanopositioning Technologies Changhai Ru
Libristo-Code: 09493694
Verlag Springer International Publishing AG, Dezember 2015
This book covers the state-of-the-art technologies for positioning with nanometer resolutions and ac... Vollständige Beschreibung
? points 263 b
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This book covers the state-of-the-art technologies for positioning with nanometer resolutions and accuracies, particularly those based on piezoelectric actuators and MEMS actuators. The latest advances are described, including the design of nanopositioning devices, sensing and actuation technologies and control methods for nanopositioning. This is an ideal book for mechanical and electrical engineering students and researchers; micro and nanotechnology researchers and graduate students; as well as those working in the precision instrumentation or semiconductor industries.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Nanopositioning Technologies
Autor Changhai Ru, Xinyu Liu, Yu Sun
Sprache Englisch
Einband Buch - Hardcover
Datum der Veröffentlichung 2015
Anzahl der Seiten 409
EAN 9783319238524
ISBN 3319238523
Libristo-Code 09493694
Verlag Springer International Publishing AG
Gewicht 966
Abmessungen 155 x 235 x 29

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik > Elektronische Geräte und Materialien
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik > Regelungstechnik
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Technologie, allgemein > Ingenieurswesen, Maschinenbau allgemein
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Technologie, allgemein > Konstruktion, Entwurf
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Technologie, allgemein > Nanotechnologie
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Industrielle Chemie und Fertigungstechnologien > Andere Fertigungsverfahren
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