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Dieses Buch vereint die wesentlichen Aspekte zum erfolgreichen Entwurf von Mikrosystemen und gibt eine geschlossene Darstellung der Grundlagen, Entwurfsmethoden, Simulationsverfahren, Anwendungen und Technologien. Bei diesem Werk steht der Entwurf im Vordergrund, insbesondere die sich aus der Miniaturisierung ergebenden Konsequenzen im Entwurf von Mikrosystemen, da die physikalischen Eigenschaften bei einer Maßstabänderung nicht gleich bleiben. Besondere Beachtung finden die Zusammenhänge und Analogien der elektrischen, mechanischen, thermischen, fluidischen und optischen Funktionselemente, da diese Komplexität leicht unüberschaubar wird. TOC:Einführung.- Technologien der Mikrosystemtechnik.- Werkstoffe der Mikrosystemtechnik.- Allgemeine Entwurfsmethoden.- Systemsimulation.- Beschreibung physikalischer Vorgänge durch Netzwerkmodelle.- Makromodelle.- Numerische Feldberechnung.- Systemintegration.- Physikalischer Entwurf und Systemintegration.- Systemoptimierung.- Mikroaktoren.- Sensoren.
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