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Buch
Hardcover
For Micro and Nano Electro-Mechanical Systems (MNEMS) production, each product requires a unique pro...
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Libristo-Code: 05158609
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292 b
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For Micro and Nano Electro-Mechanical Systems (MNEMS) production, each product requires a unique process technology.§This book provides a comprehensive insight into the tools required for fabricating MNEMS systems and the process technologies applied. Besides, it describes the enabling technologies which are necessary for successful production, i.e., wafer planarization and bonding, cleanroom, or gas and surface analysis.
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Informationen zum Buch
Vollständiger Name
Micro and Nano Fabrication
Sprache
Englisch
Englisch
Einband
Buch - Hardcover
Datum der Veröffentlichung
2015
Anzahl der Seiten
519
EAN
9783662443941
ISBN
3662443945
Libristo-Code
05158609
Gewicht
952
Abmessungen
164 x 240 x 31
Kategorie
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse
>
Technologie, allgemein
>
Ingenieurswesen, Maschinenbau allgemein
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse
>
Technologie, allgemein
>
Nanotechnologie
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