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MEMS

Design and Fabrication

Sprache EnglischEnglisch
Buch Hardcover
Buch MEMS Mohamed Gad-El-Hak
Libristo-Code: 06705780
Verlag Taylor & Francis Inc, November 2005
Details the techniques, technologies, and materials involved in designing and fabricating MEMS devic... Vollständige Beschreibung
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Details the techniques, technologies, and materials involved in designing and fabricating MEMS devices. This volume offers an overview of MEMS materials and examines various fabrication and manufacturing methods, including LIGA and macromolding, X-ray based fabrication, EFAB[registered] technology, and deep reactive ion etching.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name MEMS
Autor Mohamed Gad-El-Hak
Sprache Englisch
Einband Buch - Hardcover
Datum der Veröffentlichung 2005
Anzahl der Seiten 664
EAN 9780849391385
ISBN 9780849391385
Libristo-Code 06705780
Verlag Taylor & Francis Inc
Gewicht 1153
Abmessungen 178 x 254 x 37

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik
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