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Materials, Technology and Reliability for Advanced Interconnects and Low-K Dielectrics - 2004

Sprache EnglischEnglisch
Buch Hardcover
Buch Materials, Technology and Reliability for Advanced Interconnects and Low-K Dielectrics - 2004 R. J. CarterC. S. Hau-RiegeG. m. KlosterT. -M. Lu
Libristo-Code: 02060385
Verlag Materials Research Society, September 2004
The scaling of device dimensions with a simultaneous increase in functional density has imposed trem... Vollständige Beschreibung
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The scaling of device dimensions with a simultaneous increase in functional density has imposed tremendous challenges for materials, technology, integration and reliability of interconnects. To meet requirements of the ITRS roadmap, new materials are being introduced at a faster pace in all functions of multilevel interconnects. The issues addressed in this book cannot be dispelled as simply selecting a low-k material and integrating it into a copper damascene process. The intricacies of the back end for sub-100nm technology include novel processing of low-k materials, employing pore-sealing techniques and capping layers, introducing advanced dielectric and diffusion barriers, and developing novel integration schemes. This is in addition to concerns of performance, yield, and reliability appropriate to nanoscaled interconnects. Although many challenges continue to impede progress along the ITRS roadmap, the contributions in this book confront them head-on. It provides a scientific understanding of the issues and stimulate new approaches to advanced multilevel interconnects.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Materials, Technology and Reliability for Advanced Interconnects and Low-K Dielectrics - 2004
Autor R. J. CarterC. S. Hau-RiegeG. m. KlosterT. -M. Lu
Sprache Englisch
Einband Buch - Hardcover
Datum der Veröffentlichung 2004
Anzahl der Seiten 402
EAN 9781558997622
ISBN 1558997628
Libristo-Code 02060385
Verlag Materials Research Society
Gewicht 677
Abmessungen 160 x 234 x 28

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Fertigungstechnik und Ingenieurwesen > Industrielle Qualitätskontrolle
Recht > Recht bestimmter Jurisdiktionen und bestimmter Rechtsgebiete > Gewerblicher Rechtsschutz, Geistiges Eigentum
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Maschinenbau
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Materialwissenschaft
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