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Laser Interference Lithography for Micro- and Nano-Fabrication

Name: Laser Interference Lithography for Micro- and Nano-Fabrication
Brand: VDM Verlag
SKU: 06834220
Price: 69.39 EUR
Availability: InStock
Author: Ainara Rodriguez
ISBN: 9783639269369

Ainara Rodriguez

Santiago M. Olaizola

Isabel Ayerdi

Sprache

Englisch

Buch Broschur

Libristo-Code: 06834220

Verlag VDM Verlag, April 2011

There is an increasing interest in nanoscience and nanotechnology due to the new physics and chemist... Vollständige Beschreibung

Libristo-Code: 06834220

170 b

69.39 € inkl. MwSt.

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There is an increasing interest in nanoscience and nanotechnology due to the new physics and chemistry that are accessible on the nanoscale and because of the large potential for new products and devices that they provide. Therefore, the ability to fabricate structures on the nanoscale with high precision and in a wide variety of materials is a crucial issue for the development of the nanoscience and nanotechnology. Lithography and the other processes associated with it are the core of the nanotechnology revolution. One of the most promising techniques for the fabrication of structures on the nanoscale is Laser Interference Lithography (LIL). LIL, also known as holographic or interferometric lithography, is a well-established concept largely explored in lithography. However, a pulsed multi- beam LIL tool for nanoscale structuring of materials that can scale beyond laboratory prototypes into cost effective industrial processes is not yet defined. In this document, a versatile and automatic high-power multiple beam interference lithography system design capable of overcoming the limitations of manual setups is presented.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Laser Interference Lithography for Micro- and Nano-Fabrication

Autor Ainara Rodriguez, Santiago M. Olaizola, Isabel Ayerdi

Sprache

Englisch

Einband Buch - Broschur

Datum der Veröffentlichung 2011

Anzahl der Seiten 212

EAN 9783639269369

ISBN 3639269365

Libristo-Code 06834220

Verlag VDM Verlag

Gewicht 318

Abmessungen 152 x 229 x 12

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Technologie, allgemein

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