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Laser Damage in Calcium Fluoride

A theoretical approach to radiation damage

Sprache EnglischEnglisch
Buch Broschur
Buch Laser Damage in Calcium Fluoride Stephan Rix
Libristo-Code: 07065434
Verlag Sudwestdeutscher Verlag Fur Hochschulschriften AG, Dezember 2011
Calcium fluoride is a key lens material in deep-ultraviolet microlithography. However, exposure to h... Vollständige Beschreibung
? points 160 b
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Calcium fluoride is a key lens material in deep-ultraviolet microlithography. However, exposure to high fluences of the application wavelength, 193 nm, results in coloring of the material and degrading of its optical properties. Based on theoretical modeling and with the support of experimental evidence, the damage process is discussed from the initial matter-light interaction to the formation of complex radiation damage structures. Understanding laser damage or radiation damage in general is crucial for the development of future high-performance optical materials.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Laser Damage in Calcium Fluoride
Autor Stephan Rix
Sprache Englisch
Einband Buch - Broschur
Datum der Veröffentlichung 2011
Anzahl der Seiten 132
EAN 9783838128108
ISBN 3838128109
Libristo-Code 07065434
Verlag Sudwestdeutscher Verlag Fur Hochschulschriften AG
Gewicht 204
Abmessungen 152 x 229 x 8

Kategorie

Mathematik und Naturwissenschaften > Physik
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