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Ion Sources

Name: Ion Sources
Brand: Springer, Berlin
SKU: 01566924
Price: 223.59 EUR
Availability: InStock
Author: hang Huashun
ISBN: 9783540657477

hang Huashun

Sprache

Englisch

Buch Hardcover

Libristo-Code: 01566924

Verlag Springer, Berlin, November 1998

Ion implantation has become a basic technology in device manufacturing. For efficient use of this ac... Vollständige Beschreibung

Libristo-Code: 01566924

547 b

223.59 € inkl. MwSt.

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Ion implantation has become a basic technology in device manufacturing. For efficient use of this accelerator-based technique the choice of appropriate ion sources is important. This book deals with the design and operation of ion sources. Additionally the physics of ion formation of the various elements with different charge states and charge neutralization are discussed. Ion selection and beam diagnostics are part of the book too. The presentation of the necessary equations and diagrams for the various parameters makes this book useful as a handbook for ion sources.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Ion Sources

Autor hang Huashun

Sprache

Englisch

Einband Buch - Hardcover

Datum der Veröffentlichung 1999

Anzahl der Seiten 476

EAN 9783540657477

ISBN 3540657479

Libristo-Code 01566924

Verlag Springer, Berlin

Gewicht 894

Abmessungen 156 x 234 x 26

Kategorie

Mathematik und Naturwissenschaften > Chemie > Physikalische Chemie > Oberflächenchemie und Adsorption

Mathematik und Naturwissenschaften > Physik > Kernphysik

Mathematik und Naturwissenschaften > Physik > Teilchen- und Hochenergiephysik

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Technologie, allgemein > Ingenieurswesen, Maschinenbau allgemein

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Materialwissenschaft

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