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Dry Etching Technology for Semiconductors

Name: Dry Etching Technology for Semiconductors
Brand: Springer International Publishing AG
SKU: 14208384
Price: 96.49 EUR
Availability: InStock
Author: Kazuo Nojiri
ISBN: 9783319356242

Kazuo Nojiri

Sprache

Englisch

Buch Broschur

Libristo-Code: 14208384

Verlag Springer International Publishing AG, September 2016

This book is a must-have reference to dry etching technology for semiconductors, which will enable e... Vollständige Beschreibung

Libristo-Code: 14208384

236 b

96.49 € inkl. MwSt.

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This book is a must-have reference to dry etching technology for semiconductors, which will enable engineers to develop new etching processes for further miniaturization and integration of semiconductor integrated circuits. The author describes the device manufacturing flow, and explains in which part of the flow dry etching is actually used. The content is designed as a practical guide for engineers working at chip makers, equipment suppliers and materials suppliers, and university students studying plasma, focusing on the topics they need most, such as detailed etching processes for each material (Si, SiO2, Metal etc) used in semiconductor devices, etching equipment used in manufacturing fabs, explanation of why a particular plasma source and gas chemistry are used for the etching of each material, and how to develop etching processes. The latest, key technologies are also described, such as 3D IC Etching, Dual Damascene Etching, Low-k Etching, Hi-k/Metal Gate Etching, FinFET Etching, Double Patterning etc.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Dry Etching Technology for Semiconductors

Autor Kazuo Nojiri

Sprache

Englisch

Einband Buch - Broschur

Datum der Veröffentlichung 2016

Anzahl der Seiten 116

EAN 9783319356242

ISBN 3319356240

Libristo-Code 14208384

Verlag Springer International Publishing AG

Gewicht 2117

Abmessungen 155 x 235 x 7

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik > Schaltkreise und Komponenten (Bauteile)

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik > Elektronische Geräte und Materialien

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Technologie, allgemein > Ingenieurswesen, Maschinenbau allgemein

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