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Doping Engineering for Front-End Processing: Volume 1070

Sprache EnglischEnglisch
Buch Hardcover
Buch Doping Engineering for Front-End Processing: Volume 1070 B. J. PawlakM. L. PelazM. LawK. Surugo
Libristo-Code: 02060462
Verlag Materials Research Society, Oktober 2008
Materials scientists, silicon technologists and TCAD researchers come together in this book to share... Vollständige Beschreibung
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Materials scientists, silicon technologists and TCAD researchers come together in this book to share experimental results and physical models, discuss achievements and challenges, and identify key issues for future research in this field. The volume focuses on many aspects related to doping of semiconductors (Si, SiGe and Ge) for device fabrication, and explores areas for single-gate as well as multi-gate devices with planar and vertical architectures. Surface properties, coverage, bonding saturation and passivation, and annealing ambient are also discussed.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Doping Engineering for Front-End Processing: Volume 1070
Autor B. J. PawlakM. L. PelazM. LawK. Surugo
Sprache Englisch
Einband Buch - Hardcover
Datum der Veröffentlichung 2008
Anzahl der Seiten 319
EAN 9781605110400
ISBN 160511040X
Libristo-Code 02060462
Verlag Materials Research Society
Gewicht 568
Abmessungen 157 x 235 x 23

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik > Elektronische Geräte und Materialien
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Materialwissenschaft
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