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CMOS Gate-Stack Scaling - Materials, Interfaces and Reliability Implications: Volume 1155

Name: CMOS Gate-Stack Scaling - Materials, Interfaces and Reliability Implications: Volume 1155
Brand: Materials Research Society
SKU: 02060485
Price: 129.79 EUR
Availability: InStock
Author: Alexander A. DemkovBill TaylorH. Rusty HarrisJeffery W. Butterbaugh
ISBN: 9781605111285

Alexander A. DemkovBill TaylorH. Rusty HarrisJeffery W. Butterbaugh

Sprache

Englisch

Buch Hardcover

Libristo-Code: 02060485

Verlag Materials Research Society, November 2009

To address the increasing demands of device scaling, new materials are being introduced into convent... Vollständige Beschreibung

Libristo-Code: 02060485

318 b

129.79 € inkl. MwSt.

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To address the increasing demands of device scaling, new materials are being introduced into conventional Si CMOS processing at an unprecedented rate. Presentations collected here focus on understanding, from a chemistry and materials perspective, the mechanism of interface formation and defects at interfaces, for both conventional Si and alternative channel (Ge or III-V) systems. Several papers address reliability concerns for high-k/metal gate (basic physical models, charge trapping, etc.), while others cover characterization of the thin films and interfaces which comprise the gate stack. Topics include: advanced Si-based gate stacks; and alternate channel materials.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name CMOS Gate-Stack Scaling - Materials, Interfaces and Reliability Implications: Volume 1155

Autor Alexander A. DemkovBill TaylorH. Rusty HarrisJeffery W. Butterbaugh

Sprache

Englisch

Einband Buch - Hardcover

Datum der Veröffentlichung 2009

Anzahl der Seiten 194

EAN 9781605111285

ISBN 1605111287

Libristo-Code 02060485

Verlag Materials Research Society

Gewicht 430

Abmessungen 160 x 236 x 14

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Fertigungstechnik und Ingenieurwesen > Industrielle Qualitätskontrolle

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Materialwissenschaft

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