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CCD Image Sensors in Deep-Ultraviolet

Name: CCD Image Sensors in Deep-Ultraviolet
Brand: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
SKU: 01651435
Price: 136.09 EUR
Availability: InStock
Author: Flora Li
ISBN: 9783642061523

Degradation Behavior and Damage Mechanisms

Flora Li

Arokia Nathan

Sprache

Englisch

Buch Broschur

Libristo-Code: 01651435

Verlag Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG, Oktober 2010

As the deep-ultraviolet (DUV) laser technology continues to mature, an increasing number of industri... Vollständige Beschreibung

Libristo-Code: 01651435

333 b

136.09 € inkl. MwSt.

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As the deep-ultraviolet (DUV) laser technology continues to mature, an increasing number of industrial and manufacturing applications are emerging. For example, the new generation of semiconductor inspection systems is being pushed to image at increasingly shorter DUV wavelengths to facilitate inspection of deep sub-micron features in integrated circuits. DUV-sensitive charge-coupled device (CCD) cameras are in demand for these applications. Although CCD cameras that are responsive at DUV wavelengths are now available, their long-term stability is still a major concern. This book describes the degradation mechanisms and long-term performance of CCDs in the DUV, along with new results of device performance at these wavelengths.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name CCD Image Sensors in Deep-Ultraviolet

Autor Flora Li, Arokia Nathan

Sprache

Englisch

Einband Buch - Broschur

Datum der Veröffentlichung 2010

Anzahl der Seiten 232

EAN 9783642061523

ISBN 3642061524

Libristo-Code 01651435

Verlag Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG

Gewicht 379

Abmessungen 155 x 235 x 14

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik > Elektronische Geräte und Materialien

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Andere Technologien und verwandte Wissenschaften > Angewandte Optik > Lasertechnik und Holographie

Mathematik und Naturwissenschaften > Physik > Optische Physik

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Technologie, allgemein > Ingenieurswesen, Maschinenbau allgemein

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Materialwissenschaft

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