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Advances in Rapid Thermal and Integrated Processing

Name: Advances in Rapid Thermal and Integrated Processing
Brand: Springer Netherlands
SKU: 01973611
Price: 428.39 EUR
Availability: InStock
Author: F. Roozeboom
ISBN: 9789048146963

F. Roozeboom

Sprache

Englisch

Buch Broschur

Libristo-Code: 01973611

Verlag Springer Netherlands, November 2009

Rapid thermal and integrated processing is an emerging single-wafer technology in ULSI semiconductor... Vollständige Beschreibung

Libristo-Code: 01973611

1048 b

428.39 € inkl. MwSt.

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Rapid thermal and integrated processing is an emerging single-wafer technology in ULSI semiconductor manufacturing, electrical engineering, applied physics and materials science. Here, the physics and engineering of this technology are discussed at the graduate level. Three interrelated areas are covered. First, the thermophysics of photon-induced annealing of semiconductor and related materials, including fundamental pyrometry and emissivity issues, the modelling of reactor designs and processes, and their relation to temperature uniformity. Second, process integration, treating the advances in basic equipment design, scale-up, integrated cluster-tool equipment, including wafer cleaning and integrated processing. Third, the deposition and processing of thin epitaxial, dielectric and metal films, covering selective deposition and epitaxy, integrated processing of layer stacks, and new areas of potential application, such as the processing of III-V semiconductor structures and thin- film head processing for high-density magnetic data storage.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Advances in Rapid Thermal and Integrated Processing

Autor F. Roozeboom

Sprache

Englisch

Einband Buch - Broschur

Datum der Veröffentlichung 2010

Anzahl der Seiten 566

EAN 9789048146963

ISBN 9048146968

Libristo-Code 01973611

Verlag Springer Netherlands

Gewicht 803

Abmessungen 160 x 240 x 29

Kategorie

Mathematik und Naturwissenschaften > Physik > Materialwissenschaft / Aggregatzustände > Physik der kondensierten Materie (Flüssigkeits- und Festkörperphysik)

Mathematik und Naturwissenschaften > Chemie > Analytische Chemie > Spektroskopie, Spektrochemie, Massenspektrometrie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Materialwissenschaft > Werkstoffprüfung

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik > Elektronische Geräte und Materialien

Mathematik und Naturwissenschaften > Naturwissenschaften, allgemein > Wissenschaftliche Ausstattung, Experimente und Techniken

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