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Advanced Ta-Based Diffusion Barriers for Cu Interconnects

Sprache EnglischEnglisch
Buch Broschur
Buch Advanced Ta-Based Diffusion Barriers for Cu Interconnects Rene Hubner
Libristo-Code: 06423929
Verlag Nova Science Publishers Inc, März 2009
Copper has become the standard metallisation material for on-chip interconnects in high-performance... Vollständige Beschreibung
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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Advanced Ta-Based Diffusion Barriers for Cu Interconnects
Autor Rene Hubner
Sprache Englisch
Einband Buch - Broschur
Datum der Veröffentlichung 2009
Anzahl der Seiten 102
EAN 9781604564518
ISBN 9781604564518
Libristo-Code 06423929
Verlag Nova Science Publishers Inc
Gewicht 192
Abmessungen 153 x 227 x 8

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik > Elektronische Geräte und Materialien
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