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3-Dimensional Process Simulation

Sprache EnglischEnglisch
Buch Broschur
Buch 3-Dimensional Process Simulation J. Lorenz
Libristo-Code: 02118874
Verlag Springer Verlag GmbH, Oktober 2011
Whereas two-dimensional semiconductor process simulation has achieved a certain degree of maturity,... Vollständige Beschreibung
? points 132 b
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Whereas two-dimensional semiconductor process simulation has achieved a certain degree of maturity, three-dimensional process simulation is a newly emerging field in which most efforts are dedicated to necessary basic developments. Research in this area is promoted by the growing demand to obtain reliable information on device geometries and dopant distributions needed for three-dimensional device simulation, and challenged by the great algorithmic problems caused by moving interfaces and by the requirement to limit computation times and memory requirements. A workshop (Erlangen, September 5, 1995) provided a forum to discuss the industrial needs, technical problems, and solutions being developed in the field of three-dimensional semiconductor process simulation. Invited presentations from leading semiconductor companies and research Centers of Excellence from Japan, the USA, and Europe outlined novel numerical algorithms, physical models, and applications in this rapidly emerging field.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name 3-Dimensional Process Simulation
Autor J. Lorenz
Sprache Englisch
Einband Buch - Broschur
Datum der Veröffentlichung 2011
Anzahl der Seiten 196
EAN 9783709174302
ISBN 3709174309
Libristo-Code 02118874
Verlag Springer Verlag GmbH
Gewicht 375
Abmessungen 170 x 244 x 12

Kategorie

Mathematik und Naturwissenschaften > Physik > Materialwissenschaft / Aggregatzustände
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Industrielle Chemie und Fertigungstechnologien > Industrielle Chemie und Chemietechnologie
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik
EDV und Informationstechnologie > Grafische und digitale Media-Anwendungen > Computer-Aided Design (CAD)
EDV und Informationstechnologie > Informatik > Computermodellierung und -simulation
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